| 加工定制 : | 是 | 品牌 : | 頂立科技 |
| 類型 : | 沉積爐 | 型號 : | HCVD系列 |
| 別名 : | 化學氣相沉積爐 | 適用范圍 : | 炭炭剎車盤、陶瓷基復合材料 |
| 爐膛 高溫度 : | 1500 | 工作溫度 : | 1500 |
| 工作室尺寸 : | 600*600*900 | 加熱方式 : | 電阻/感應 |
| 極限真空度 : | 1-100Pa |
電阻爐可采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
采用智能壓力調控，壓力波動小；
全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級 尾氣處理系統，環境友好，易清理；
可選配外循環快冷系統，降溫時間短，生產效率高；
可用于高溫熱解炭沉積， 高溫度可達2200℃；
適用于工藝氣氛：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號
電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)
