| 加工定制 : | 是 | 品牌 : | 頂立科技 |
| 類型 : | 沉積爐 | 型號(hào) : | HCVD系列 |
| 別名 : | 化學(xué)氣相沉積爐 | 適用范圍 : | 炭炭剎車盤、陶瓷基復(fù)合材料 |
| 爐膛 高溫度 : | 1500 | 工作溫度 : | 1500 |
| 工作室尺寸 : | 600*600*900 | 加熱方式 : | 電阻/感應(yīng) |
| 極限真空度 : | 1-100Pa |
電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
采用智能壓力調(diào)控，壓力波動(dòng)小；
全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級(jí) 尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；
可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高；
可用于高溫?zé)峤馓砍练e， 高溫度可達(dá)2200℃；
適用于工藝氣氛：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)
