| 加工定制 : | 否 | 品牌 : | SENTECH |
| 型號 : | SENpro | 用途 : | 多角度或單角度入射快速測量并分析數據 |
| 別名 : | 橢偏儀 | 規格 : | 1 |
SENTECH SENpro經濟型可變入射角光譜橢偏儀
SENpro 是全新的經濟型光譜橢偏儀的代表, 操作簡易, 多角度或單角度入射快速測量并分析數據。 SENpro可測量單層膜或多層膜的膜厚、折射率和消光系數。也能夠測量各角度入射反射光譜和透射光譜，并同橢偏測量數據結合分析。使用補償器，可自動糾正非理想薄膜導致的退偏效應。
SENpro 帶有光譜橢偏儀分析軟件 SpectraRay LT，可對系統硬件控制和數據分析， 如測量數據、建模、擬合和輸出結果。
主要應用:
1，測量透明薄膜的厚度和折射率（厚度范圍0.1 nm - 10,000 nm），可工作于透明或吸收基底。 ,
2，測量多層膜
3，分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜
4，測量光刻膠的光學常數
5，分析有機薄膜
6，測量各向異性材料和薄膜
